半导体
同位素气体在半导体制造中通过精确的核素调控，实现从掺杂精度优化、器件抗辐射增强到材料热性能提升的多重功能，是突破摩尔定律物理极限、发展量子计算等下一代信息技术的关键支撑材料。
同位素气体在半导体制造中通过精确的核素调控，实现从掺杂精度优化、器件抗辐射增强到材料热性能提升的多重功能，是突破摩尔定律物理极限、发展量子计算等下一代信息技术的关键支撑材料。