锗72
锗-72：是高制程集成电路预非晶化注入工艺关键材料，用于高迁移率锗硅通道，提升晶体管速度。
所属分类
稳定同位素
半导体
产品详情
| 产品形态 | 四氟化锗 |
| 分子式 | 72GeF4 |
| 分子量 | 148.63 |
| CAS号 | 7783-58-6 |
| 密度 | 2.126g/mLat 0°C(lit.) |
| 沸点 | -36.5ºC |
| 70Ge丰度 | <10.00% |
| 72Ge丰度 | >80.00% |
| 73Ge丰度 | <10.00% |
| 74Ge丰度 | <5.00% |
| 76Ge丰度 | <0.10% |
| 氟化氢 | <12ppmv |
| 二氧化碳 | <1ppmv |
| 氮气 | <1ppmv |
| 氩气+氧气 | <1ppmv |
| 二氧化硫 | <5ppmv |
| 一氧化碳 | <1ppmv |
| 纯度 | 4N |
| 包装方式 | 气瓶 |
| 气瓶容量 | 8L |
| 充装量 | 5~10kg |
| 阀门 | CGA330 |